被災地企業のシーズ支援プログラムH25～27年度

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平成25年度被災地企業の技術シーズ評価プログラム（福島再生可能エネルギー研究開発拠点機能強化事業）共同研究技術シーズ技術的支援•従来、シリコンウェハの片面のみのエッチングには、エッチングをしない面に保護膜を形成してから、エッチングを行うことが行われていました。•一方、スピンエッチング法を用いることで、保護膜を形成しなくてもウェハの片面のみをエッチングすることが可能となります。•しかし、スピンエッチング法は、ウェハを回転させながらウェハ上にエッチング液を滴下するため、エッチング液自体もスピン処理工程に合わせたものが必要となります。•太陽電池作製プロセスの内、エッジアイソレーション工程も本処理液で行えることが明らかとなりました。このため、セル作製のための新しいプロセス技術としての導入が可能であることを実証できました。結晶シリコンウェハ用表面処理液のポイントシリコンウェハの片面だけを平坦化するための加工方法（スピンエッチング）に適した表面処理（エッチング）液を開発本薬液を用いて実際にウェハの加工やセルの作製を行い、セルの高効率化を進める。太陽電池用スピンエッチング装置のための新しいエッチング溶液の実現を目指す。産総研による技術シーズの評価方法日本化成株式会社が保有する技術シーズスピンエッチングに適した新しいエッチング液を実現することにより、より低コストで高効率なセルの作製を行うことができる。日本化成株式会社会社概要日本化成株式会社所在地小名浜工場（開発・生産拠点）福島県いわき市小名浜字高山34TEL0246-54-3170資本金6,593百万円設立昭和12年9月1日事業内容メタノール、ホルマリン、木質系接着剤、アンモニア系製品、プラスチック添加剤、UV硬化樹脂、合成石英粉などの製造・販売。本プロセスで作製された効率19.3%のセル（厚さは180mm）テクスチャ―表面の平坦化が可能。高効率セルへの適用に期待。スピンエッチング装置で本表面処理液を用いることで、より簡単なプロセスで、厚さ100mmの太陽電池作製に成功。結晶シリコンウェハ表面処理液の性能評価鈴木竜暢1 ・木田康博2・白澤勝彦2・高遠秀尚2 1 日本化成株式会社2 独立行政法人産業技術総合研究所再生可能エネルギー研究センター