被災地企業のシーズ支援プログラムH25～27年度

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共同研究技術シーズ技術的支援平成26年度被災地企業のシーズ支援プログラム（福島再生可能エネルギー研究開発拠点機能強化事業）産総研による技術シーズの評価方法•従来、シリコンウェハの片面のみのエッチングには、エッチングをしない面に保護膜を形成してから、エッチングを行うことが行われていました。•一方、スピンエッチング法を用いることで、保護膜を形成しなくてもウェハの片面のみをエッチングすることが可能となります。•しかし、スピンエッチング法は、ウェハを回転させながらウェハ上にエッチング液を滴下するため、エッチング液自体もスピン処理工程に合わせたものが必要となります。•ＦREAのセル作製のための標準プロセスにおいてスピンエッチング工程を導入（Al-BSF 平均効率～19％）。•スピンエッチング用いることで両面受光型セルのプロセス工程数を削減できました。このプロセスを用いてセルを試作し、19.2%を得ています。•このプロセスは、厚さ100mmの太陽電池作製プロセスにも適用できることを実証しました。結晶シリコンウェハ用表面処理液のポイント日本化成株式会社会社概要所在地小名浜工場（開発・生産拠点）福島県いわき市小名浜字高山34TEL0246-54-3170資本金6,593百万円設立昭和12年9月1日事業内容メタノール、ホルマリン、木質系接着剤、アンモニア系製品、プラスチック添加剤、UV硬化樹脂、合成石英粉などの製造・販売。シリコンウェハの片面だけを平坦化するための加工方法（スピンエッチング）に適した表面処理（エッチング）液を開発日本化成（株）が保有する技術シーズ日本化成株式会社本薬液を用いて実際にウェハの加工やセルの作製を行い、セルの高効率化を進める。太陽電池用スピンエッチング装置のための新しいエッチング溶液の実現を目指す。スピンエッチング用いることで両面受光型セルのプロセス工程数を削減。このプロセスを用いてセルを試作し、効率19.2%を得ることができた。Al-BSF セルで平均効率～19％のFREA標準プロセスを確立スピンエッチング装置スピンエッチング法を用いることでプロセスの工程数を削減。セルの変換効率19.2％（表側）日本化成（株）のエッチング液鈴木竜暢1 ・木田康博2・白澤勝彦2・高遠秀尚2 1日本化成株式会社2独立行政法人産業技術総合研究所再生可能エネルギー研究センタースピンエッチング装置用結晶シリコンウェハ表面処理液の開発